度环境下保持这个精度。

这种陶瓷材料的配方和烧结工艺，整个蓝星上只有我们的龙心实验室掌握。

雄鹰部落的陶瓷材料研究在全球也算是顶尖的，但他们目前最好的陶瓷导轨，精度比我们差了一个数量级都不止。”

“第二，高速气浮主轴。这个主轴是驱动晶圆台旋转和移动的核心部件，最高转速超过每分钟数万转，径向跳动量必须控制在几十纳米以内。

它内部的气浮轴承结构、供气系统的压力波动控制、转子动平衡的校准精度，每一项都是绝密级别的工艺。我给雄鹰部落十年，他们也未必能把这个东西做到我们的水平。”

“第三，激光干涉仪模组。这是整个光刻机位置反馈系统的核心，用来实时测量晶圆台和掩模台之间相对位置的变化，测量分辨率要做到亚纳米级别。

这个模组里面用到的稳频激光器、光学干涉光路的设计、信号处理的算法，全部都是我们从头到尾自主研发的。

雄鹰部落目前在激光干涉测量领域的最高精度还停留在十几纳米级别，差距是整整一个数量级。”

苏定平将三根手指收回，重新走回办公桌前坐下，目光平静地看着赵启年。

“所以，你担心雄鹰部落买了我们的光刻机之后会逆向工程赶超我们，这个可能性几乎为零。他们能逆向出来的，都是我们在上一代产品中就已经不再使用的技术。

而真正构成我们代差优势的这些核心零部件和底层工艺，他们连从哪里开始模仿都找不到方向。”

赵启年听完苏定平这番话，心里最后一点疑虑也彻底烟消云散了。他长长地吐了一口气，脸上露出由衷的钦佩。

“苏总工，跟您聊完这些，我感觉自己之前的担心简直就是杞人忧天。您这不是在卖设备，是在给他们挖一个填不满的坑啊。”

苏定平没有否认这个说法，只是拿起桌上的茶杯喝了一口已经有些凉了的茶，然后放下杯子，话锋一转。

“启年，还有一个细节，你去找情报部门的老郑，让他们把雄鹰部落派遣马甲求购光刻机的消息，通过一些非正式的渠道放出去。”

赵启年愣了一下，随即眼睛一亮。

“放给谁？”

“日不落部落的商业情报网，兰西部落的驻外商务代表处，还有北欧联盟那几个在半导体材料领域和雄鹰部落有竞争关系的成员。”

苏定平的语气轻松得就像在讨论今天中午吃什么。

“你想，雄鹰部落绕开他们的盟友，独自派人来龙夏采购高端光刻机，这意味着什么？”

赵启年脑子转得飞快，几乎是在苏定平话音落下的瞬间就接上了。

“意味着雄鹰部落不想让他们知道自己已经放弃了靠自己研发突破光刻机技术的路线，转而直接向龙夏购买！这等于是在告诉日不落和兰西那些还在苦苦支撑自主研发的部落——你们的盟友已经偷偷投降了！”

“没错。”

苏定平点了点头，目光中多了一丝洞悉人心的锐利。

“日不落和兰西这几年在半导体设备领域投入巨大，虽然一直没有突破最顶尖的制程，但在中端和成熟制程上的积累并不弱。

他们一直以为雄鹰

章节内容不完整，请退出阅读模式查看完整内容！