返回第1196章 阳谋一出,盟友炸锅!雄鹰偷买光刻机,背后捅刀玩得溜  十七光年首页

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“苏总工,我明白您的布局。但我还是有一个顾虑——雄鹰部落的技术底子确实不弱,尤其是在半导体材料和一些关键工艺上,他们的积累很深。我们卖给他们95纳米的设备,他们拿到之后拆开来研究,万一真的通过逆向工程突破了一些技术瓶颈,然后在更先进的制程上追上来,那岂不是养虎为患?”

苏定平听完赵启年的担忧,并没有立刻反驳,而是靠在椅背上,嘴角勾起一个意味深长的弧度。

“启年,你提到逆向工程,那我就跟你说说逆向工程这件事。”

他的语气像是在给学生上课,耐心而从容。

“光刻机这个东西,和普通的机械设备完全不同。它不是说你把它拆开来,一个零件一个零件地量尺寸、测材料,然后照着做就能仿制出来的。

这套设备涉及光学、精密机械、材料科学、控制算法、环境工程等十几个尖端学科的深度交叉,几百个子系统深度耦合在一起,任何一个环节的偏差都会导致整体性能的崩塌。”

苏定平站起身,走到办公室角落的一块白板前,拿起记号笔,在上面画了一个简化的光刻机核心结构示意图。

“比如我们的极紫外光源系统。产生极紫外光的方式本身就是一个极高的技术壁垒——用高功率激光轰击锡滴,让锡滴等离子化并辐射出135纳米波长的极紫外光。

这个过程中,锡滴的直径要控制在二十微米以内,激光的轰击频率要达到每秒五万次,锡滴的下落轨迹和激光的聚焦点必须在几个微米的空间范围内精准交汇。”

他用笔在白板上点了点那个代表光源的小圆圈。

“这还只是光源一个环节。接下来的反射镜系统,需要用到原子级光滑度的多层镀膜反射镜,每一层钼和硅的镀膜厚度控制在原子量级,反射面的粗糙度不能超过零点一纳米。

这种镀膜工艺,雄鹰部落目前只能做到实验室级别的样品,量产良品率低得可怜。”

他的笔继续往下画,钩勒出一个简化版的物镜系统。

“再往下,投影物镜。我们目前的物镜系统由二十多片镜片组成,每一片镜片的表面精度要做到亚纳米级别,镜片之间的装配误差要控制在零点几纳米范围内。

这个装配不是在普通环境下完成的,而是在超高真空、恒温恒湿的洁净室里,用专门的纳米定位装置一片一片地调试出来的。

光是这个装配工艺的know—how,就够雄鹰部落啃上五年的。”

赵启年听得很认真,他虽然之前就对这些情况有所了解,但听苏定平从技术底层一条条剖析出来,感受还是完全不同。

他渐渐明白苏定平为什么对雄鹰部落的逆向工程如此不以为意了。

苏定平把记号笔放下,转头看向赵启年。

“而且,最关键的一点——我们卖给他们的光刻机里,有几样核心零部件,雄鹰部落即便把整个部落的科研力量全部砸进去,十年之内也造不出来。”

赵启年精神一振。

“哪些零件?”

苏定平竖起三根手指。

“第一,精密陶瓷导轨。这套导轨的直线度精度要求在几百毫米行程内偏差不超过几十纳米,而且要在高真空和交变温

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